電子顯微分析與電子探針-文庫(kù)吧
2025-04-18 08:20 本頁(yè)面
【正文】 分辨率的主要因素有： ? ①掃描電子束斑直徑 ； ? ②入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)； ? ③操作方式及其所用的調(diào)制信號(hào)； ? ④信號(hào)噪音比； ? ⑤雜散磁場(chǎng)； ? ⑥機(jī)械振動(dòng)將引起束斑漂流等，使分辨率下降。 ? （ 3） 景深 ? SEM（ 二次電子像）的景深比光學(xué)顯微鏡的大，成像富有立體感。 表 222 掃描電子顯微鏡景深 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 ? 一、像襯原理 ? 像的襯度 就是像的各部分 (即各像元 )強(qiáng)度相對(duì)于其平均強(qiáng)度的變化。 ? SEM可以通過(guò)樣品上方的電子檢測(cè)器檢測(cè)到具有不同能量的信號(hào)電子有背散射電子、二次電子、吸收電子、俄歇電子等。 1．二次電子像襯度及特點(diǎn) ? 二次電子信號(hào)主要來(lái)自樣品表層 5~10nm深度范圍，能量較低 (小于50eV)。 ? 影響二次電子產(chǎn)額的因素主要 有： ? (1)二次電子能譜特性； ? (2)入射電子的能量； ? (3)材料的原子序數(shù)； ? (4)樣品傾斜角 ?。 二次電子像的襯度可以分為以下幾類： ? (1)形貌襯度 ? (2)成分襯度 ? (3)電壓襯度 ? (4)磁襯度 (第一類 ) 右圖為形貌襯度原理 二次電子像襯度的特點(diǎn)： ? （ 1）分辨率高 ? （ 2）景深大，立體感強(qiáng) ? （ 3）主要反應(yīng)形貌襯度。 ? 什么是最小襯度？ ZnO 水泥漿體斷口 2．背散射電子像襯度及特點(diǎn) ? 影響背散射電子產(chǎn)額的因素有： ? (1)原子序數(shù) Z ? (2)入射電子能量 E0 ? (3)樣品傾斜角 ? 圖 226 背散射系數(shù)與原子序數(shù)的關(guān)系 背散射電子襯度有以下幾類： ? (1)成分襯度 ? (2)形貌襯度 ? (3)磁襯度 (第二類 ) 背散射電子像的襯度特點(diǎn)： ? （ 1）分辯率低
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